| 单脉冲能量 | ≥50mJ@10Hz |
| 脉冲宽度 | ＜10ns |
| 重复频率 | 1~500Hz |
| 光束质量 | M² < 3.5 |
| 中心波长 | 266nm |
| 光斑圆度 | ≥95% |
| 发散角 | <1mrad(full angle) |
| 功率稳定性 | <2%RMS over 10hours |
| 偏振比 | >100:1 |
| 控制方式 | Gate, Trigger |
| 制冷 | Water-Cooling |
Laser
| 单脉冲能量 | ≥50mJ@10Hz |
| 脉冲宽度 | ＜10ns |
| 重复频率 | 1~500Hz |
| 光束质量 | M² < 3.5 |
| 中心波长 | 266nm |
| 光斑圆度 | ≥95% |
| 发散角 | <1mrad(full angle) |
| 功率稳定性 | <2%RMS over 10hours |
| 偏振比 | >100:1 |
| 控制方式 | Gate, Trigger |
| 制冷 | Water-Cooling |
